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進入「砷化氫」吸到250ppm就會立即死亡
消防員使用除污帳篷清洗。（記者姚岳宏翻攝）
〔記者吳柏軒／台北報導〕台大實驗室氣體外洩，校方懷疑是電機系半導體實驗室所需的「砷化氫」外洩；台大教授指出，要申請有毒氣體做實驗，至少需經過系所、校級等二層申請管理，而砷化氫在未來相關半導體製程會越來越流行，氣體外洩意外恐須更嚴防。
台大化工系教授童國倫說，校園實驗室相關安全規範由環境保護暨職業安全衛生中心主政，任何有毒、危害的氣體、液體、藥物等採購，都必須經過系所、校級等教授與中心審核，層層把關。一般危險物質，採購上要標註物質安全資料表，師生施用前必須充分了解，而且類似砷化氫的毒性物質，應會採用鋼瓶運輸，一般實驗用量也不大。
交通大學電機系主任陳科宏指出，半導體製程目前分兩種，一般矽製程不會用到砷化氫，台積電等大廠目前也未採用，僅少數幾家企業有使用；而砷化氫是用在半導體製程中的「三五族」類別，用來製造砷化稼這類的原料，可用在RF通訊、固態雷射製程等，依照全球發展趨勢，採用砷化氫的實驗恐越來越多，而該氣體只要人體皮膚接觸到一點點就很嚴重，只要吸到250ppm就會立即死亡。
陳科宏說，因為只有少數半導體實驗會用到砷化氫，研判台大不可能裝配管線橫跨多個實驗室，應是採購該氣體鋼瓶，運到需要的實驗室外，再從室外配管連到室內，管線老舊而導致殘留的情況有可能發生，但研判應該外洩情況不嚴重，否則恐怕會有更多傷損。
