國研院兩半導體新技術 登國際會議焦點論文
2015/12/22 13:15
〔記者湯佳玲/台北報導〕國家實驗研究院奈米元件實驗室以「奈米級菱形鍺高速通道技術」、「原子級二硫化鉬二維通道技術」等兩項次5奈米世代前瞻元件技術研發為主的6篇論文,獲選於2015年底舉行、全球最重要之頂尖電子元件國際會議「國際電子元件會議」( IEDM)中發表,其中兩篇更獲選為大會的焦點論文。
2015年底舉行的IEDM中,國研院奈米元件實驗室的6篇論文,與比利時IMEC(20篇)、美國IBM(10篇)、台積電(7篇),以及美國Intel(5篇)等單位,同列本年度的發表數領先團隊。
國研院陳旻政博士指出,「奈米級菱形鍺通道結構」是將鰭式電晶體三個面向的電流通道拓展為四個,並於製程中去除掉通道介面的缺陷,降低元件操作時可能產生的電能量損耗,使電流傳輸速度提高一倍,大幅提升電晶體特性。
另一項是將厚度僅4奈米(6層二硫化鉬分子)的二維二硫化鉬與現今業界主流的鰭式電晶體結構整合,開發出全球第一顆二維二硫化鉬通道的鰭式電晶體元件,搭配特殊的背閘極設計,以「雙閘極」減少漏電流情形,可使用電量減少一半。