環保署加嚴半導體空污管制標準 估28中小型業者受影響
2023/05/04 21:57
環保署今天修正發布半導體空污管制及排放標準,預估會有28家中小型業者受影響。(記者陳嘉怡攝)
〔記者陳嘉怡/台北報導〕環保署今(2)天修正發布半導體空污管制及排放標準,預估將有28家中小型業者受影響,將給予業者2年緩衝期,未來若仍未能符合標準,依空污法最高可處2000萬元罰鍰。
環保署空保處表示,「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」自88年發布施行,迄今已屆10餘年未檢討修正。目前此標準列管的業者共213家,未來此標準加嚴後,有28家可能會受到影響,以中、小型業者為主。
根據環保署資料,原標準是不分規模以全廠揮發性有機物(VOCs)總排放量不得超過每小時0.6公斤;此次加嚴改以個別排放管道VOCs濃度須小於14ppm、酸氣(硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸)濃度小於0.5ppm規範;同時,增訂新設製程VOCs濃度不得大於10ppm、酸氣濃度不大於0.3ppm的排放標準。
環保署估算,藉由排放標準的修訂,預計可減少286公噸VOCs及12公噸酸性氣體排放量,相當於一座煉油廠4個月的排放量。
空保處表示,會給予業者2年緩衝期,若業者無法在2年內完成改善,可提出相關申請展延1年;但如果還是未能符合標準,將依空污法開罰10萬元至2000萬元罰鍰。
空保處也表示,此次除了加嚴空污管制排放標準外,也提供業者強化自主管理檢測誘因,只要工廠的污染防制設備的形式及規模符合環保署規範條件、污染排放達一定比例以下,業者就可以改為個別排放管道濃度管制,不用再以全廠總排放量管制,業者可節省空污檢測成本,空污管制也能更精準。
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