照亮奈米世界 清大創小體積極紫外光
清華大學光電工程研究所陳明彰教授(右一)團隊,成功突破光電瓶頸,利用小小光圈發展出18奈米的極紫外光。(圖由清大提供)
〔記者吳柏軒/台北報導〕清華大學光電研究近期突破學界10年瓶頸,與中國、美國等組跨國團隊,透過光圈調控,創造出小體積版的極紫外光,將可照亮奈米世界,加速半導體及生醫界奈米發展,該研究也獲刊在國際光學期刊《Optica》中。
清大光電工程研究所助理教授陳明彰與研究生共組團隊,投入可照亮奈米世界的光源研究,但學界卡在最小只照亮18奈米的紫外光亮度,原因在於「相位錯位」,也就是光線中的紅外光與極紫外光相位速度不同,導致光強度(亮度)無法累積,不能再照亮更小奈米的世界。
陳明彰說,而且極紫外光的發光設備體積龐大,如國家同步輻射中心有的設備就有2到3個操場那麼大,自己留美歸國後,希望投入研究創造體積更小、光源更亮的桌上型極紫外光。
光圈調控光子同步 讓光源更亮
陳明彰說,3年前與碩士生孫宏維、博士生黃旆齊一起實驗,偶然將光圈放在高次諧波實驗前方,發現只要調整光圈大小,就可精巧控制極紫外光的頻寬和中心波長,突破了傳統能量極限,讓18奈米的光子數增強了400倍。
黃旆齊則用2人3腳遊戲解釋原理,其中如果要讓光源亮度越亮,就要號召很多光子參加,但光子變多就亂,很難同步抵達終點,但透過光圈控制,等於讓光子同步,解決相位錯位問題,而且該研究的光源系統的體積還縮小約2公尺左右,讓桌上型極紫外光的夢想更邁進一步。
陳明彰表示,極紫外光可幫助半導體大廠在先進製程上再突破,若有桌上型設備,未來相關光源應用層面也十分廣泛,除了半導體的研發、檢測與製程外,生醫界也能透過極紫外光,看到更微小的疾病細胞,加速奈米世界的研究,該創新突破也獲刊在光電指標期刊《Optica》。
清華大學光電工程研究所陳明彰教授(右)與博士班學生黃旆齊(左),操作桌上型極紫外光(EUV),此項研究也登上光電指標期刊Optica。(圖由清大提供)
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