「砷化氫」吸到250ppm就會立即死亡
2018/11/06 06:00
〔記者吳柏軒/台北報導〕台大實驗室氣體外洩,校方懷疑是電機系半導體實驗室所需的「砷化氫」外洩;台大教授指出,要申請有毒氣體做實驗,至少需經過系所、校級等二層申請管理,而砷化氫在未來相關半導體製程會越來越流行,氣體外洩意外恐須更嚴防。
台大化工系教授童國倫說,校園實驗室相關安全規範由環境保護暨職業安全衛生中心主政,任何有毒、危害的氣體、液體、藥物等採購,都必須經過系所、校級等教授與中心審核,層層把關。一般危險物質,採購上要標註物質安全資料表,師生施用前必須充分了解,而且類似砷化氫的毒性物質,應會採用鋼瓶運輸,一般實驗用量也不大。
交通大學電機系主任陳科宏指出,半導體製程目前分兩種,一般矽製程不會用到砷化氫,台積電等大廠目前也未採用,僅少數幾家企業有使用;而砷化氫是用在半導體製程中的「三五族」類別,用來製造砷化稼這類的原料,可用在RF通訊、固態雷射製程等,依照全球發展趨勢,採用砷化氫的實驗恐越來越多,而該氣體只要人體皮膚接觸到一點點就很嚴重,只要吸到250ppm就會立即死亡。
陳科宏說,因為只有少數半導體實驗會用到砷化氫,研判台大不可能裝配管線橫跨多個實驗室,應是採購該氣體鋼瓶,運到需要的實驗室外,再從室外配管連到室內,管線老舊而導致殘留的情況有可能發生,但研判應該外洩情況不嚴重,否則恐怕會有更多傷損。