半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目

〔記者洪瑞琴／台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的「埃米（奈米的 10 分之 1）」推進，國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊利用自行組裝的設備，發揮車庫創業精神，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈米溝槽內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊，受到國際矚目。

研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠著自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。徐邦昱表示，在研發的過程中需要用到許多先進儀器，但動輒上千萬元，在工學院與材料系的支持下，學生們以較少經費、自行動手組裝設備。

請繼續往下閱讀...

團隊成員包括材料系碩士生，楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承，整個實驗室裡都是自行組裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備，市面上根本找不到，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了200萬元就組裝出來，而先進製程需要用到的無光罩雷射微影系統，市售價格600到1000萬元，團隊則是花了20多萬元就組裝出。

徐邦昱表示，目前半導體製程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空磊晶設備控制長出晶體，再蝕刻提昇精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方，很不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3奈米（10億分之1公尺）的線寬精度，但持續推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精進，是產業的必然，目前大家都在努力中。

徐邦昱說明，這項研究成果廣受國際注目的原因，在於打通了埃米級操作分子的多項技術瓶頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行為，克服過往認為不可操作的分子運動，將材料的操作精度推進至埃米尺度。