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進入環保署加嚴半導體空污管制標準 估28中小型業者受影響
環保署今天修正發布半導體空污管制及排放標準，預估會有28家中小型業者受影響。（記者陳嘉怡攝）
〔記者陳嘉怡／台北報導〕環保署今（2）天修正發布半導體空污管制及排放標準，預估將有28家中小型業者受影響，將給予業者2年緩衝期，未來若仍未能符合標準，依空污法最高可處2000萬元罰鍰。
環保署空保處表示，「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」自88年發布施行，迄今已屆10餘年未檢討修正。目前此標準列管的業者共213家，未來此標準加嚴後，有28家可能會受到影響，以中、小型業者為主。
根據環保署資料，原標準是不分規模以全廠揮發性有機物（VOCs）總排放量不得超過每小時0.6公斤；此次加嚴改以個別排放管道VOCs濃度須小於14ppm、酸氣（硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸及硫酸）濃度小於0.5ppm規範；同時，增訂新設製程VOCs濃度不得大於10ppm、酸氣濃度不大於0.3ppm的排放標準。
環保署估算，藉由排放標準的修訂，預計可減少286公噸VOCs及12公噸酸性氣體排放量，相當於一座煉油廠4個月的排放量。
空保處表示，會給予業者2年緩衝期，若業者無法在2年內完成改善，可提出相關申請展延1年；但如果還是未能符合標準，將依空污法開罰10萬元至2000萬元罰鍰。
空保處也表示，此次除了加嚴空污管制排放標準外，也提供業者強化自主管理檢測誘因，只要工廠的污染防制設備的形式及規模符合環保署規範條件、污染排放達一定比例以下，業者就可以改為個別排放管道濃度管制，不用再以全廠總排放量管制，業者可節省空污檢測成本，空污管制也能更精準。
