離開
進入常溫完成曲面鍍膜 光電製程革命
2025/06/05 05:30 記者吳柏軒／台北報導
半導體低碳雷射智慧製造技術結合AI與虛擬實境，能遠端遙控機械手臂製作。（記者吳柏軒攝）
清大、台大及國家儀器科技研究中心攜手達陣
清華大學、台灣大學及國家儀器科技研究中心攜手，鑽研光電半導體雷射製程，革命新法採綠色製程加低溫雷射，實現常溫常壓下的曲面鍍膜，作出微米級的金屬及光電線材，可客製多樣化的電子元件，未來可能發展出皮膚穿上感測器、隱形眼鏡直接顯影等科技，且製程縮短、能耗減半，可望讓半導體碳排大幅下降。
微米級線材 可客製多樣化的電子元件
「某天深夜，看到圖板出現一條銀線，那時感動至今記憶猶新！」清大動力機械工程系教授李明蒼回憶，當年赴美研究雷射燒結（將奈米顆粒燒成立體結構），但光準備奈米材料就需三人輪班二天不眠不休，也只能做出一小罐成品，靈機一動將「加熱」延後，用友善環境的溶劑把銀金屬化為銀離子，再雷射鍍膜到基板上達導電功能。
李明蒼解析，該技術在常溫常壓運作，並立體堆疊出微米級的金屬材質，包含金、銀、銅，更可曲面成形，製作出精細多樣的金屬及光電材料線路，過往需多重工序，新技術類似3D列印改為一次成形，經計算，新技術能耗較傳統減半，製程時間也縮短。
透明導電薄膜 線路鍍在玻璃
台大機械系教授莊嘉揚也解釋團隊另一項技術「透明導電薄膜」，亦運用雷射電漿，把透明可導電的材質液態「霧化」，再「定」到基板上堆疊，也異質整合，將金屬線路鍍在玻璃上，有助實現科幻中的隱形眼鏡顯影等功能。
該團隊技術由國科會補助研發，結合AI技術，清大資工系教授丁川康指出，以生成式AI克服實驗數據稀缺問題，幫助系統整合及製程參數優化，可預測加工品質，誤差約二．五％到三％間。
結合AI 可預測加工品質
但李明蒼坦言，新技術仍比不上量產型機台，無法取代成熟製程，而是輔助角色，盼有機會造出皮膚上的電子元件促進精準醫療，或實現未來科幻想像中的透明顯示裝置、溫控光學鏡片等。
在玻璃基底上製作精細微米級的金屬及光電線材，有助未來開發個人穿戴式裝置、溫控光學鏡片等。（記者吳柏軒攝）
清大教授李明蒼、台大教授莊嘉揚等組成團隊，研究半導體雷射製程，可製造出「透明導電薄膜」，並呼應綠色製造與異質整合趨勢。（記者吳柏軒攝）
台灣大學、清華大學及國家儀器科技研究中心強強聯手，開發出專利的圖樣化鍍膜技術，可常溫常壓下製作精細多樣的金屬及光電材料線材，實驗可降低半導體製程碳排放，並拿下2023年未來科技獎。（記者吳柏軒攝）
