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進入國科會原子針尖斷層影像儀極致前瞻 解析原子級3維構築
國科會與學界共同建置「原子針尖斷層影像儀（APT）」，可解析奈米世界下的材料元件，高解析度達原子等級，有助半導體、光電、能源等前瞻材料研發。（記者吳柏軒攝）
〔記者吳柏軒／台北報導〕國科會砸7千萬元建構學術界首台「原子針尖斷層影像儀（APT）」，今（19日）首度曝光，跟上極致前瞻的材料分析技術，能微觀解析奈米尺度下的原子分布立體3維構築，同時達近20ppm成分濃度偵測，可望助攻半導體元件朝下世代材料邁進，更可擴展前瞻應用材料如金屬、光電、能源、量子等領域。
國科會自然科學及永續研究發展處處長羅夢凡表示，半導體是台灣護國神山，但晶片越做越小，半導體元件的材料與結構越來越重要，APT技術可達元素解析度，有助開發下一世代半導體材料，讓台灣持續領先。
國內APT專家、台灣大學材料科學與工程學系教授顏鴻威表示，半導體朝向微縮、立體與異質等趨勢，挑戰就必須看見相關材料的顯微結構，目前儀器多二維鑑定，自己當年出國接觸APT，才驚奇3維高解析的極致能力。
顏鴻威說，APT採破壞式分析，需將元件構成20乘20乘10奈米的針尖，再送到APT儀器內，以355奈米紫外光雷射，讓待測元件「場蒸發」，原子因此游離、一顆顆一層層剝落，再透過質譜儀收集資訊，最後透過數學模式重構，在電腦建立出該元件的3D立體成分，空間解析度達原子級，且在成份濃度偵測極限可達近20ppm（百萬分之一）。
台灣半導體中心主任侯拓宏指出，APT是很多領域有廣泛運用，材料上分析扮演關鍵腳色，此機台是國內學術界第一台，未來將整合中心環境，推出半導體最完整的一條龍的研究環境，讓半導體進入埃米世代（1埃米等於0.1奈米）。
該機台設在國科會國家實驗研究院台灣半導體研究中心，並與台灣大學、清華大學、陽明交通大學等學者共同建置；是國內學術界首台APT，與業界齊平；據悉，台積電自己建構2台。
國科會表示，APT系統是台灣首個公開的產學研合作研究平台，除對半導體產業有幫助，也可擴展到多種前瞻應用材料，包含金屬鋼鐵、光電、能源等方向，未來還要整合台大穿透式電子顯微鏡TEM等，提供元件材料完整分析，也是材料科學人才培育重鎮。目前分析數小時就可完成，首先提供學界申請，產業合作待正式運作後再展開。
國科會國家實驗研究院台灣半導體研究中心與台灣大學、清華大學、陽明交通大學等學者共同建置「原子針尖斷層影像儀（APT）」，是國內學術界首台APT，與業界齊平。（記者吳柏軒攝）
國科會建構學術界首台「原子針尖斷層影像儀（APT）」，市價要高達1.4億元，因與業者促成產官學研合作，建置價格降至7千萬元。（記者吳柏軒攝）
國內APT專家、台灣大學材料科學與工程學系教授顏鴻威表示，APT有原子等級的空間解析能力，一次就能分析出3D立體結構，並有可偵測達20ppm成分濃度，採運算型顯微技術，是微觀分析技術的未來趨勢。（記者吳柏軒攝）
