中研院團隊扮柯南 提升台積電良率

〔記者湯佳玲／台北報導〕晶圓的製造過程非常繁複，需經大量機台層層加工塗料，才會產生一個合格的晶圓成品。因此，若是想要找出製程中產生問題的機台，進一步降低不良率，就成了高科技產業品管上的一大困難。中研院統計所研究員銀慶剛與高雄大學組成研究團隊和台積電產學合作，抓出不良機台「兇手」，讓不良率下降11%~14%，大幅提升產品良率。

銀慶剛說，製成晶圓的機台數量十分龐大，要經過上千道關卡，但量產前的製程初期，晶圓片數則非常少，所以要怎麼找到出問題的機台，「就把它當成偵查犯罪來看，從上千個機台中找兇手！」

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他們建立的統計模型先根據台積電的測試結果分析排序可能出問題的機台，排除最不可能的「兇手」，再進行篩減，給出建議哪些機台可能出問題，台積電將那些機台停下來後再測試，在多次實驗中，不良率下降了11%~14%。

銀慶剛說，以此數學模型，在1000次的實驗中，有980次可以抓到「嫌犯」。