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竹科壓降0.1秒 晶圓廠逾12小時才全面復產

2022/03/03 05:30

力積電被列為電力品質輔導對象,表示「欣然接受」。(資料照)

〔記者洪友芳、楊綿傑/綜合報導〕新竹科學園區前天下午三點十八分發生大規模電力壓降事故,衝擊竹科所有廠商,包括台積電、聯電、力積電等晶圓廠生產線瞬間壓降,部分機台跳電停產,儘管影響時間約不到○.一秒,但已有生產中的晶圓需報廢,各晶圓廠從前晚到昨早上才陸續完全恢復生產。而造成壓降「禍首」的力積電,針對被列為電力品質輔導對象,表示「欣然接受」。

禍首力積電 台電列電力輔導對象

竹科前天下午因新竹園區內特高壓用戶力積電廠區的主變壓器跳脫故障,導致竹科發生大規模電壓下降,連湖口工業區也遭殃。半導體廠商質疑,台電宣稱有電力線路雙迴路系統,為何一家公司主變壓器跳脫故障,外面雙迴路系統的多數竹科廠商都遭到波及,可見台電的電網配置也是有問題的。

半導體廠透露,部分機台遭電力壓降會有不斷電系統即時啟動保護,「但不是每一台設備都有不斷電系統」;不斷電系統設備昂貴,平常也要花高成本養護,購置不斷電系統就是考量台電供應品質不穩,才會去投資設置。

廠商也表示,最關鍵的冰水主機只要壓降都會跳電,需要時間復機,一些設備也要停下來調校機台,才能復機生產;這次雖僅是短暫壓降,但因各晶圓廠產能滿載,影響比預期大,從前晚到昨天早上才陸續完全恢復正常生產,部分生產中晶圓因此需報廢,有的要重新測試,造成一部分產能損失。

竹科管理局則說明,壓降為廠商設備故障造成,與用電量無關,目前供電品質都穩定,後續也會進行檢討,與台電、廠商等一起討論如何預防改善,並對設備故障廠商進行輔導。

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