晴時多雲

鑽石切割技術 矽晶圓廠搶攻

2016/06/30 06:00

綠能總經理林士源。(記者張慧雯攝)

〔記者張慧雯/台北報導〕太陽能矽晶圓的鑽石切割(Diamond wire saw)逐漸取代傳統切削方式(Slurry-base),由於至少能節省成本10-20%,看準這個趨勢,包括中美晶(5483)、綠能(3519)、國碩(2406)都積極準備,中美晶2年前就開始投入研發,綠能也表示已做足準備,國碩集團更成立子公司碩鑽,一線矽晶圓廠都搶攻這塊新市場。

中美晶表示,2年前就投入(高效率低污染超薄多晶晶片)鑽石線切割技術開發,昨日召開股東會的綠能總經理林士源也表示,綠能為鑽石切割晶片做足準備,已成功開發140um多晶片鑽石線切割與表面製絨處理技術,矽料耗損率可再下降10%,並獲得經濟部業界能源科技「太陽能矽晶片鑽石線切割與表面處理技術開發計畫」專案補助。

林士源說,下階段計畫將結合次世代蝕刻技術提升效率,發展專業核心能力,橫向建構單晶產品,縱向開發模組事業,提升公司多元獲利。

事實上,碩禾以及國碩也切入鑽石線業務,由子公司碩鑽進行,預計今年9月廠房完工後,第1階段先遷入10台機器,3年內將增至84台機器,國碩表示,今年3月起開始送樣,先以中國矽晶圓大廠為主,目前主攻單晶矽晶圓,但未來也會往多晶矽晶圓的方向進行。

國碩分析,鑽石線可做到切片時材料耗損少,且不用再使用傳統切削油、粉,對成本、效率都有幫助,更沒有環保問題,也因此未來Slurry切割產能會移往泰國,台灣則採用鑽石線技術。

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