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荷蘭半導體設備巨擘ASML揭露不能賣給中國的設備型號。（路透社）
陳麗珠／核稿編輯
〔財經頻道／綜合報導〕為遏制中國研發14奈米以下的先進製程，荷蘭對中國半導體設備出口禁令擴大。荷蘭半導體設備巨擘艾司摩爾（ASML）證實，今年起NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三個型號及後續推出的關鍵浸潤式微影設備，都無法取得出口許可；同時，少部分中國晶圓廠也無法取得NXT:1970i和NXT:1980i兩個型號曝光機。這意味著，部分中國晶圓廠只能從ASML買到2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號曝光機，落後最先進的DUV曝光機NXT:2100i 五代。
為了因應晶片禁令，中國趕在限制措施實施前，瘋狂採購半導體設備。根據市場調查數據，中國在2023年採購ASML曝光機已超過300台，是2022年的3倍。初步核算，2023年中國向ASML購買曝光機金額介於80億美元至100億美元之間，年增3.2倍。
中國掃貨迫使美國及荷蘭政府出手補漏洞，ASML本應在今年向中國交付三台曝光機，出口許可在今年1月初被吊銷，持續圍堵中國半導體。
根據ASML在24日舉行年度會議上，財務長Roger Dassen證實，已和荷蘭政府進行確認，2024年起，ASML向中國出貨的NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三個型號及後續推出的關鍵浸潤式微影設備，都不會取得荷蘭政府許可。
此外，少部分中國晶圓廠也無法取得NXT:1970i和NXT:1980i兩個型號曝光機的出口許可。據悉，ASML先前僅提及，NXT:1980i無法出口給部分中國晶圓廠，而NXT :1970i無法出口給中國是首次公開提出。
根據中媒財新報導，NXT:1970i首次出貨的時間是2013年，是2016年首次出貨的NXT:1980i的上一代產品，這項禁令意味著，部分中國晶圓廠只能從ASML購得2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號曝光機，落後目前最先進的DUV曝光機NXT:2100i五代。
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