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碩禾（3691）旗下子公司華旭矽材（6682）切入碳化矽領域，在半導體展中，展出全台第1片8吋碳化矽晶圓，右為碩和總經理兼華旭董事長黃文瑞，左為華旭副總鄭樵陽。（記者張慧雯攝）
〔記者張慧雯／台北報導〕碩禾（3691）旗下子公司華旭矽材（6682）切入碳化矽領域，在半導體展中，展出全台第1片8吋碳化矽晶圓，碩和總經理兼華旭董事長黃文瑞表示，2021年開始建置再生晶圓及6吋、8吋碳化矽晶圓設備，6吋碳化矽晶圓今年首季已開始量產，著眼長期趨勢市場朝8吋方向發展，華旭也已製造出全台第1片8吋碳化矽晶圓。
目前台廠業者以4吋和6吋產品為主，不過，不少國際大廠相繼投入8吋市場，包括Wolfspeed去年宣布啟用全球最大8吋碳化矽新廠、日本昭和電工8吋碳化矽磊晶晶圓也有樣品、中國晶盛機電也在去年8月宣布8吋長晶晶體出爐。
黃文瑞表示，華旭投資1.5億元引進德國磊晶（Epi）設備，是德商在全亞洲的第1台，9月開始試產，可以生產6吋與8吋碳化矽晶圓，機器設備1.5億元，加上週邊的基礎設備，進軍碳化矽磊晶共投資超過2億元，目前月產能為2000片，預計需求增溫則明年下半年再增購1台設備，希望明年第4季月產能達到4000片。
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