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聯電研發綠色化學品有成。（資料照）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工廠聯電（2303）秉持環保愛地球的理念，並因應各項有害物質替代計畫的執行，致力於開發與推展環保再利用化學品於各項半導體製程，已獲得多項成果。
聯電表示，公司是全球首家所有廠區同時通過QC 080000 HSPM 標準驗證的半導體製造商，也是國內首家達成全氟碳化合物（PFOA-related）製程有害物質替代的半導體業者，台灣所有廠區也都通過工業局清潔生產評估系統認證。
針對半導體業對環境可能造成的衝擊，聯電表示，策略就是以「源頭減量」取代「管末處理」。早期半導體界為了追求較高的清洗效率，清洗溶劑會添加一些含氟化合物，但這不僅對人體有害也會破壞生態環境，尤其這些溶劑成分配方皆來自國外大廠，要減量、回收，甚至取代都更加複雜。與其事後彌補，聯電斧底抽薪，從源頭開始減量。
聯電方法之一是提升清洗效能的最適化。聯電利用奈米表面成分技術（SEM/TEM/EDX），分析製程上前一個步驟——蝕刻產生的殘餘物，來調整蝕刻機台參數設定，讓殘餘物減量或使其結構更鬆散更易被清洗。在下一步驟--清洗，針對清洗溶劑的成分特性、濃度配比，溫度設定最適化，增強去除殘餘物的能力，例如半導體後段銅導線製程中的化學清洗步驟，過程是要浸泡在一種溶劑中，透過這樣的做法來提升清洗效能，就成功拉長其更換週期，順利達到70%以上的化學溶劑減量。
聯電也用另一種方法是「清洗溶劑客製化」。為了減少對國外廠商的依賴度，聯電跟國內化學大廠合作研發，針對蝕刻殘餘物的特性，共同開發出聯電專屬的綠色溶劑化學品。2015年聯電完成PFOS（全氟辛烷磺酸，Perfluorooctanesulfonic acid）的取代，2017年再領先業界完成PFOA （全氟辛酸，Perfluorooctanoic acid）的更換。
聯電自2018起，每年皆完成一項綠色化學品開發，2018年採用具生物分解性的友善化學物質，自主研發出一種全新的綠色化學品，已在聯電新加坡廠Fab12i正式上線，應用在40奈米的製程上，節省成本達新台幣四千萬元。2019年以三羧酸循環（TCA cycle）內的生物酸取代傳統鹼性含氟清洗劑，這項可循環再利用的化學品也在 南科廠Fab12A 上線，應用在14奈米的製程上，每年減少10噸含氟化學溶劑用量。
2020年聯電通過氧化還原反應過程，將溶液循環再利用，並維持原有無鹵素環保化學品的特性，降低該清洗製程項目50%生產成本，且不產生含氟之環境有害物質，可應用於14、22奈米的後段製程。2021年開發出三羧酸循環之特用生物酸綠色化學品，減少原清洗製程溶液中98%氟化物使用。
2022年，聯電也完成開發一項符合歐盟綠色環保規範的後段關鍵金屬的清洗製程開發，將傳統的清洗溶劑改成無NMP （N-甲基吡咯烷酮，N-Methylpyrrolidinone）的親水性溶劑。該項特用綠色化學品已完成並測試成功，已應用於南科廠Fab12A。在與前一年度產能相當的情況下，2022年含NMP的化學溶劑較2021年有效減少約13噸的使用，未來將逐步展開至Fab12A廠內各製程，同時聯電將會持續推動各廠後段無NMP清洗製程。
聯電的綠色化學教育、綠色安全替代、化學物質管理、災害防救整備也獲得外界肯定，已連續兩屆拿下環保署綠色化學應用及創新獎」的肯定。在這個自2019年起、每兩年一次的評比中，聯電是全國唯一連續二屆同時獲得團體組與個人組獎項的企業。
聯電持續推動溫室氣體替代革命，預計在2023年持續領先業界，開發一項取消溫室氣體--一氧化二氮（N2O）投入的前段製程，未來可望每年減少9.63公噸N2O使用量，相當於降低2,551噸CO2e。研發成功後預計應用於各項22奈米製程及拓展至成熟製程，不僅提升公司競爭力，也對環境更友善，降低半導體生產製造對環境的危害，落實聯電永續發展藍圖中「最小化環境足跡」的目標。
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