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鋼鐵雖屬傳産，也能在電子業發光！中鋼研發的「光電產業用低氧鈦靶材」，用於薄膜電晶體阻絕材料，獲頒「第十八屆傑出光電產品獎」，目前已出貨給國內面板廠。圖為中鋼企業總部。（資料照，記者林耀文攝）
〔記者羅倩宜／台北報導〕鋼鐵雖屬傳産，也能在電子業發光！中鋼研發的「光電產業用低氧鈦靶材」，用於薄膜電晶體阻絕材料，獲頒「第十八屆傑出光電產品獎」，目前已出貨給國內面板廠。中鋼表示，鈦靶已正式出貨給面板8.5代廠。未來每年約可創造3億元產值。
中鋼研發的「光電產業用低氧鈦靶材」，是由集團旗下各個專長事業合作開發。由中鋼精材煉胚、中鋼軋延、鑫科接合。鈦靶目前主要用於液晶顯示器中薄膜電晶體的擴散阻絕層材料。
中鋼表示，面板廠的濺鍍製程，將純鈦靶製作成薄膜電晶體中的擴散阻絕層時，常遭遇兩大製程問題。首先是在濺鍍後，擴散阻絕層鈦薄膜中的鐵、氧等雜質含量過高，雜質原子擴散進入導電層，影響電子訊號傳輸；其次為鈦靶濺鍍速率過低，造成業者量產時生產成本提高及產能利用率下降。
中鋼利用『真空電弧熔煉』、『控溫軋延』及『熱處理調質』三項核心製程，成功替客戶解決問題，使鈦靶同時具備『高純度低雜質』、『細晶』及特殊的『集合組織』三項特性。目前中鋼鈦靶已正式銷售給龍頭面板廠，應用於8.5代產線。未來隨著平面顯示器銅製程及低溫多晶矽LTPS製程產能開出後，鈦靶使用量將大幅成長，估計每年約可為國內光電用靶材產業創造3億元產值。
中鋼表示，集團研發的鋁靶及鈦靶連續獲得傑出光電產品獎，未來將持續善用冶金技術優勢，進一步推出優質的鉬靶及銅靶，全面供應光電產業所需的高品級金屬靶材，提升國內光電產業的競爭力。
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