茂德工安意外 台日工程師2傷
機台測試 氫氟酸噴濺
〔記者/綜合報導〕國內知名光電大廠茂德科技中科廠,2名工程師昨日進行機台送水測試時,遭到氫氟酸噴濺,日籍工程師北川直樹臉部受傷,台籍工程師林家鋒則有吸入性嗆傷、手部也接觸到少量氫氟酸,雖無立即危險,不過,氫氟酸會慢慢破壞人體組織,2人仍留院觀察。
勞委會中區勞動檢查所表示,茂德違反勞工安全衛生設施規則,已予以警告。茂德科技副總曾邦助則強調,此次工安意外對生產線運作並不會有任何影響,出事原因會再進一步調查。
勞委會勞工檢查處處長傅還然表示,2名工程師在裝設2部蝕刻機機台時,A機台已經裝設完畢、進行測試時,因為A、B機台源頭開關標示錯誤,在打開標示為A的開關(實質開的卻是B開關),氫氟酸液體正好送入B機台,噴濺而出導致這場意外。
傷者北川直樹(24歲)、林家鋒(29歲)是茂德協力廠商迪恩仕設備公司的工程師,近日到廠房安裝清洗晶圓的2台機台,昨日工程師進行其中1台機台送水測試時,不慎遭到少量氫氟酸噴濺。
台中縣消防局大雅分局局員陳立倫說,他們抵達現場時,茂德已將傷者用「葡萄糖酸鈣」解毒性藥膏塗抹傷處,他們在送醫過程中,也儘量保持通風,並讓患者傷處不要受到感染,一路奔馳到台中榮總不到10分鐘。
反應極快 自行沖冷水
目擊者表示,2名工程師都穿防護衣,日籍工程師反應極快,當下斷定遭受化學藥劑噴濺,旋即沖水半小時。台中榮總毒物科主任洪東榮表示,傷者到院前的急救措施值得稱許,經救治後,目前2名工程師已暫無大礙,並轉至普通病房住院觀察。
根據勞委會的統計指出,92年至今,一共發生了7件高科技廠有害氣體洩漏、造成多名員工傷亡的事故,其中,大部分都是氫氟酸、矽甲烷、砷化氫等,容易造成中毒、火災爆炸的高危害物質。
茂德 中科首家DRAM廠
茂德科技公司中部科學工業園區台中基地「第二座12吋晶圓廠─晶圓三廠」 ,94年11月15日落成啟用,代表該公司跨越90奈米製程量產世代。
該公司預估,12吋晶圓三廠產能規模在今年第三季時,將達每月3萬片,可推升的位元成長率高達80%,量產成果可奠定製程技術提升,並帶動量產規模經濟效益的競爭優勢;晶圓三廠今年第四季,製程技術將全線提升至70奈米,明年初達滿載月產能4萬片。
茂德科技是第一家進駐中科的動態隨機存取記憶體(DRAM)廠商,12吋晶圓三廠總投資額1000億新台幣,動工興建時是全球最大的12吋晶圓廠,佔地面積12公頃。(記者謝鳳秋)
新聞辭典-氫氟酸
原來是氣體的氟化氫,溶於水後成為1種強酸,就是氫氟酸。英國學界研究顯示,火葬時燃燒的棺木,也會產生氫氟酸等有害氣體。
彰化師範大學物理研究所博士班研究生吳天全指出,氫氟酸的活性很強,可與水、鈣、鎂、矽等產生劇烈化學反應,反應過程還會產生高溫。最恐怖的是接觸到人體肌膚時,不會有明顯灼痛感,但會滲透皮膚,甚至與骨骼內的鈣質產生反應,日積月累會衍生皮膚與骨骼病變。
目前使用氟化氫或氫氟酸的行業,主要有半導體業以氫氟酸做為清洗劑、玻璃蝕刻業以氫氟酸做為蝕刻劑、鋼鐵業使用氫氟酸做為表面除鏽劑、石化業以氟化氫做為催化劑、清潔服務業以氫氟酸做為污物腐蝕清洗劑、或做為外牆清洗劑。
氫氟酸平均容許濃度為8小時3ppm,吸入時會刺激鼻、咽、眼睛及呼吸道,高濃度蒸氣會嚴重灼傷唇、口、咽及肺,只要在50ppm濃度下暴露數分鐘即可能致死;如果是皮膚接觸其氣體或無水液體,在濃度不高的狀況下,幾個小時後,就可能出現深度皮膚灼傷。(記者張瑞楨、廖千瑩)
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