觀察原子結構 楊哲人團隊獲「研發服務平台」特優獎

〔記者羅綺／台北報導〕國家實驗研究院今年首度徵選「研發服務平台亮點成果獎」，由台灣大學材料系特聘教授楊哲人率領的團隊獲今年特優獎，抱走獎金30萬元。楊哲人表示，團隊的「次埃解析度（sub-Å）原子結構研究與應用」成果，能夠了解半導體、航太等先進材料的結構與性質之間的連結，進而找出製程缺陷，強化材料效能，甚至握有逆向工程的潛在商機。

楊哲人團隊使用台灣儀器科技研究中心「次埃解析度（sub-Å）原子結構研究與應用」研發服務平台的「原子解析度像差修正掃描穿透式電子顯微鏡」，以目前國內最高的點解析度0.78Å，觀察原子排列；Å為長度單位，為1/10奈米，而1原子大小約為1Å。

請繼續往下閱讀...

楊哲人說「以前研發人員都是用理論推導晶體是完美無瑕的狀態，但實際觀察會發現晶體上有很多細小的缺陷」；研究團隊透過精密儀器，觀察晶體的真實情況，得以找出製程中的缺陷，並透過原子佈局加以改善材料性能。

楊哲人舉例，半導體材料是未來先進製程競賽的關鍵，控管半導體有3要素，分別是「性質、結構、製程」，然而業界往往只掌握「製程」和「性質」，無從得知中間的「結構」，因而無法了解「性質」，也就無法把材料缺陷從製程中排除。

而該團隊的技術，正是觀察原子結構，如此一來，可以完全掌握半導體3要素，甚至可以做到逆向工程，是很大的科學進展，未來潛力無窮，楊哲人自信的說「連護國神山台積電都要跟我們學習」。

國研院長吳光鐘表示，國研院是科技部成立的財團法人，目前有8個國家實驗室，不僅自己做研究，更重要的是建構各種研發服務平台，協助學研界開發出頂尖的科研成果，創造新興產業。

吳光鐘說，現在最前瞻的科技研究，許多都要依靠團隊合作，以及先進的軟硬體設備，這些正是國研院所建立各種研發服務平台的強項，「希望讓創意的種子，在科學的土壤上長出美麗的花朵。」

他也希望藉由這次「研發服務平台亮點成果獎」的設立，鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作，使用以國家力量建構的研發服務平台，做出具有全球競爭力的研發成果。