台積五奈米製程 再生用水安啦！

國發會專案平台協調

〔記者陳梅英／台北報導〕台積電領先全球最先進的五奈米製程落腳南科，因首度將再生水運用於工業生產，引起生產品質與良率等疑慮。國發會昨表示，在政院指示下已成立專案協調平台，針對台積電南科先進製程新廠有關水、電、土地等關鍵事項，定期召開進度管控會議，解決各項可能遭遇困難，以兩段式逆滲透（RO）作為供水規劃，並嚴格監測水質變化，對台積電新廠製程及良率將有更高保障。

台積電十八廠落腳南科，計畫於二○二○年投產，投資金額約五千億元，是全球第一家進入五奈米製程的晶圓廠，也是再生水將首度用在工業生產；國發會主委陳美伶表示，再生水是現今世界為氣候變遷及資源永續利用常見的水資源開源方法，已有相當成熟技術及品質，如新加坡、日本、澳洲等國家都有相當發展及成果，運用範圍非常廣。

請繼續往下閱讀...

她指出，因原有再生水標準與先進製程需求不同，所以南科先進製程用水需求及標準，早納入專案協調平台討論，「以兩段式RO作為供水規劃，相關水質可符合南科相關先進製程所需」，並嚴格監測水質變化，一旦有異常情況會啟動緊急供水措施，對於製程及良率將有更高保障。

為協助業者排除投資障礙，由行政院賴院長親自主持加速投資台灣專案會議，有關台積電南科新廠興建案，已成立「南科先進製程環境建置案進度督導平台」，由國發會主委陳美伶以政務委員身分負責督導，針對水、電等各項關鍵問題定期開會解決。