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荷商艾司摩爾在南科設立EUV全球技術培訓中心，協助台灣訓練EUV設備人才。
（資料照）
記者洪友芳／專題報導
晶圓代工龍頭廠台積電（2330）往5奈米、3奈米先進製程技術推進，領先全球同業，吸引半導體材料與設備商包括日商信越、德山、荷商艾斯摩爾（ASML）等諸多外商，紛來台灣加碼投資設廠或設訓練中心，以就近服務大客戶，穩定供應料源。
設備、材料商 紛在台擴大投資設廠
因台積電是遙遙領先同業的晶圓代工龍頭，市佔率超過5成，而且約有8成產能位於台灣，從微影、蝕刻、擴散、封測等各種設備，以及矽晶圓材料到光阻劑等各類化學氣體，對國外供應商是重要商機。台積電也希望外商來台就近生產，提高料源的穩定供應度，因此外商爭相來台投資建廠。
半導體供應鏈除了原有的應材、東京威力科創等設備商之外，近幾年包括樂華科技、富士紡精密、東喜璐機能膜等日商紛往南科投資設廠；隨著台積電的5、3奈米產能建置在南科，外商更是擴大投資南臺灣，例如德商默克近期宣布加碼投資高雄路竹園區，預計5年內要擴大路竹廠規模增40％到50％的產能及人力。
信越、默克在台產能增5成
台積電是全球擁有極紫外光（EUV）最大產能的半導體廠，吸引日本大廠信越化學將在雲林加碼投資，預計2021年2月開始在台量產EUV的光阻液，以滿足台積電的需求，在台產能規劃將增加50%。除了信越化學之外，荷商艾司摩爾（ASML）因應台積電需求，今年已配合在南科設立荷蘭以外的首座EUV全球技術培訓中心，以協助台灣訓練EUV設備人才。
日本德山株式會社日前也攜手台塑（1301），共同合資成立新公司，雙方各出資一半，預計在高雄林園設立一座年產能3萬噸的電子級IPA（異丙醇）工廠，供應半導體先進製程清洗用途，規劃明年完工投產。
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