晴時多雲

台積電研發副總林本堅退休

2015/10/20 06:00

〔記者洪友芳/新竹報導〕晶圓代工大廠台積電 (2330)從40奈米製程起,技術遠拋開聯電(2303),28、20到16奈米製程持續締造營運高峰,到今年第3季這三代製程合佔營收近一半,10奈米製程更可望超越英特爾,台積電研發副總經理、同時也是中研院院士的林本堅)是協助技術突破的大功臣,他將於11月1日功成身退,從台積電退休,專心傳教。

林本堅現年73歲, 台大電機系畢業後,赴美國俄亥俄州立大學攻讀電機工程學系博士,隨後到全球知名大廠IBM的研發中心工作,22年期間,他帶領研發團隊創造出許多世界第一的技術,包括1微米、0.75微米、0.5微米的光刻技術,也是首位研發出深紫外線(DUV)的專業者。從IBM退休後,林本堅曾在美國自行創業,但在張忠謀倚賴的研發老將蔣尚義的一通電話邀請,林本堅於2000年加入台積電,並在2002年研發出浸潤式(Immersion)微影技術,讓台積電一口氣跳躍成長好幾代技術,此項技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大。

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