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中芯無法拿到ASML的EUV機台。（資料照，路透）
〔編譯楊芙宜／綜合報導〕中媒近日報導，荷蘭半導體微影設備廠艾司摩爾（ASML）中國區總裁沈波受訪時證實，目前用於先進製程的極紫外光（EUV）機台仍無法出貨給中國客戶，其他產品都可正常出貨；這反映美中科技戰延燒，中國最大晶圓代工廠中芯國際迄今無法取得可導入七奈米以下高階製程生產的EUV，與台積電競爭差距將更大。
與台積電競爭差距拉大
中芯三年前斥資一．五億美元向ASML訂購一台EUV微影設備，預計二○一九年交貨，但該設備為軍民兩用技術，受美國、荷蘭等四十多國締約「瓦聖納協議」管制敏感科技向中國等威權國家出口的限制；去年美國還進一步擴大該協議對軍民兩用產品和技術的管制範圍，涵蓋EUV應用的運算式微影軟體、五奈米IC晶圓生產技術。
中媒「澎湃新聞」報導，ASML在上海舉辦的中國國際進口博覽會參展；沈波表示，該公司對向中國出口積體電路光刻機（即微影設備）持開放態度，「在法律法規框架下」全力支持；目前ASML除了EUV無法對中國客戶供貨外，其他產品都可以正常發貨。
中芯今年三月與ASML簽約十二億美元延長採購協議至今年底，主要購買用於成熟製程的深紫外光（DUV）微影機設備。但隨著採購協議的最後期限將至，市場解讀，中芯DUV訂單雖未受到出口管制影響，但因ASML供貨吃緊、迄今仍未到貨；果真如此，中芯成熟製程擴產將受到衝擊。
ASML日前公布的第三季財報顯示，當季取得的微影設備營收中，台灣客戶占比四十六％、南韓卅三％、中國及美國各十％、日本一％。
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