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台積電改裝無塵室外氣空調箱，可節電1.49億度。（台積電提供）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）針對無塵室中的外氣空調箱（MAU）洗滌加濕系統改裝創新的濕膜板設計，到今年5月，共完成既有廠區266台外氣空調箱濕模板改裝，同時列新建廠標準設計也導入413台新設外氣空調箱，總計節電1億4900萬度，以具體行動落實綠色製造。
台積電表示，傳統外氣空調箱噴霧加濕系統以因介質板噴霧加濕系統受限於空調箱尺寸，無法增加霧化水顆粒與空氣接觸時間，洗滌水泵用電量占無塵室空調氣水輸送用電量20%。
為提高能源使用效率，台積電攜手供應商共同研發濕膜板，藉由細水霧依附於濕膜板上形成大面積水膜，以提高外氣滯留時間、增加氣流濕潤面積，使水膜可吸收更多外氣所含微汙染物，不僅強化洗滌效果，且水泵馬力變小，可減少80%用電量，達到節能效益。
台積電致力擴大節能成效，預計至今年年底既有廠區累計完成316台外氣空調箱改裝，增加節電1100萬度，新建廠區則持續進行新機導入行動，實踐綠色製造承諾，朝永續共好目標邁進。
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