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服務大客戶台積電，ASML首座EUV全球技術培訓中心明正式開幕（記者洪友芳攝）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電如火如荼在南科擴增5奈米製程的18廠，這是台積電導入極紫外光（EUV）微影設備的全製程廠區，將是全球擁有EUV產能的最大半導體廠，荷商艾司摩爾（ASML）為了服務大客戶台積電，正式在南科設立荷蘭以外的首座EUV全球技術培訓中心，將在明（20）日正式開幕，就近訓練EUV設備人才。
台積電的7奈米製程主要在中科15廠量產，去年量產第2年，加強版才開始導入EUV設備的技術。位於南科的18廠剛量產5奈米製程，這廠區也是台積電第一個採EUV微影設備的全製程技術超大型晶圓廠（GigaFab），接續還將建置3奈米產能，將是全球擁有EUV產能的最大半導體廠。
台積電是全球晶圓代工霸主，技術領先英特爾、三星，也是目前最有能力投資昂貴EUV微影設備的半導體廠，可說是ASML的大客戶，因此，吸引ASML在南科設立荷蘭以外的首座EUV全球技術培訓中心，以培訓EUV設備工程人才，就近服務客戶裝機與售後服務等等。
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