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國發會成立專案協調平台解決台積南科新廠水、電問題（記者陳梅英攝）
〔記者陳梅英／台北報導〕外界擔心南科廠首採用再生水恐影響晶圓廠生產品質與良率，國發會表示，已成立專案協調平台，針對台積電南科先進製程新廠有關水、電、土地等關鍵事項，定期召開進度管控會議、解決各項可能遭遇困難，並邀業者進行面對面的溝通，掌握計畫執行力的落實。迄今，均在計畫期程內，對於再生水的使用也已釋疑。
台積電18廠落腳台南，計劃於2020年投產，投資金額約5000億元，是全球第一家進入5奈米製程的晶圓廠，由於該廠將使用再生水，是再生水將首度用在工業生產，引發外界對於晶圓廠生產品質與良率的關切，本報的財經週報也在本周以此作為熱門話題專題探討。
對此，國發會陳主委美伶表示，再生水為現今世界為氣候變遷及資源永續利用所常見的水資源開源方法，已有相當成熟的技術及品質，如新加坡、日本、澳洲…等國家均有相當之發展及成果，運用範圍非常廣。
各項產業生產用水需配合產業生產需求，因原有再生水標準與先進製程需求不同，所以南科先進製程用水需求及標準，於討論使用再生水時即與用水端討論供水品質及標準，「以兩段式RO作為供水規劃，相關水質應可符合南科相關先進製程所需」，其中並嚴格監測水質變化，一旦有異常情況會啟動緊急供水措施，對於製程及良率將有更高保障。
國發會指出，為協助業者排除投資障礙，行政院由賴院長親自主持加速投資台灣專案會議，逐項解決影響產業經營的關鍵問題。有關台積電南科新廠興建案，也已經成立「南科先進製程環境建置案進度督導平台」，國發會主委陳美伶以政務委員身份主持，針對水、電等各項關鍵問題，定期開會。
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