許金榮︰打破美日廠壟斷局面

2012-05-07

十年磨一劍 苦盡甘來

〔記者洪友芳/新竹報導〕國內半導體設備廠漢微科(3658)投入電子束檢測設備研發多年,近10年來,陸續取得美日韓等半導體廠訂單,躍為全球電子束(E-Beam)檢測設備最大廠商,董事長許金榮形容,漢微科是「十年磨一劍」,有苦盡甘來之感。

漢微科預計5月21日以每股200元掛牌上櫃,將是國內有史以來股價最高的設備廠。

半導體廠投資1座廠動輒達千億元,但設備龐大商機向來是國外設備廠商的天下。過去半導體檢測設備以光學檢測為主,主要設備供應商有科磊(KLA)、應用材料等,其中KLA市佔率高達70-80%,可說一家獨大。

1998年成立於美國矽谷的漢民微測,花了5年時間才成功研發出第1台檢測設備,許金榮表示,初期晶圓廠仍慣用國外廠商的設備,為了讓客戶願意培養第2家設備供應商,漢微科只好將設備搬移到客戶廠內,讓客戶試用,結果設備性能勝過國外供應商,才有機會取得訂單。

漢微科第1家取得訂單的客戶是晶圓代工龍頭廠台積電,2年後日本、韓國等半導體廠陸續跟進下單,打破晶圓檢測設備長期由美日廠商壟斷市場的局面。

目前漢微科的客戶群包括晶圓代工廠及記憶體廠,例如台積電、聯電(2303)、GF、中芯、三星、海力士、東芝、IBM等,英特爾也可望將為客戶,漢微科在電子束檢測設備市佔率已高達80%,遙遙領先科磊等國外設備廠。

檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷,找出缺陷並進而幫助提高良率,許金榮指出,因光學檢測解析度有限,約在65奈米製程就會遭遇瓶頸,該公司的電子束檢測採跳躍式結合電子槍技術,適用40、28、20奈米等先進製程晶圓缺陷檢測,目前技術約領先同業競爭者一個世代,毛利率逾60%。

半導體成長雖趨緩,但許金榮表示,先進製程仍是晶圓廠及記憶體廠投資佈局的重心,估每5000片產能就需搭配1台電子束檢測設備,市場需求可望持續增加,加上電子束檢測設備進入門檻較高,漢微科在專利與技術領先業界,未來雖會有客戶資本支出縮減、同業技術突破等挑戰,但仍具競爭力,營運成長可期。

漢微科成立的前10年因客戶及銷售有限,持續處於虧損期,一度還減資,直到2010年才轉虧為盈,去年因開發美國市場有成,更獲利6.52億元,超過資本額6億元,每股盈餘10.87元。

目前漢微科股價躍為興櫃股王,今年第1季稅後盈餘2.74億元、每股盈餘4.49元,今年因三星、台積電資本支出大增,下單設備台數增加,漢微科接單能見度達今年底,預計營運獲利將超越去年。

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