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帆宣半導體機台故障預診斷系統 中科採用

2019/03/15 06:00

工研院「AI機器人夾取技術」透過自主學習,可在12小時學會夾取物體的方法,解決工廠需仰賴人力才能調整機器手臂的耗時耗力問題。(記者洪友芳攝)

工研院AI技轉實例

〔記者洪友芳/新竹報導〕廠務工程及設備廠帆宣(6196)技術移轉工研院的「半導體機台故障預診斷」技術,再延伸開發出AI相關的「大數據分析的設備預診斷系統」,已被中科半導體業的晶圓廠採用在機台設備上,此系統可在設備發生故障前事先預警,有助於省下萬一停機的損失。

帆宣系統應用事業群副總韋建名表示,意外停機成本非常昂貴,以市場估算數據,航空業若意外停機,每秒鐘延遲損失65美元;數據中心每分鐘當機損失8851美元,汽車製造業每分鐘停產的生產線損失達2.2萬美元;半導體若生產已到製程後段爐管區,每次乾式幫浦停機損失逾10萬美元,以百片晶圓計算,每片約1200美元。

帆宣技轉工研院「半導體機台故障預診斷」技術,進一步開發出基於大數據分析的設備預診斷系統,子系統包括設備預診斷、設備生命週期管理、零件生命週期管理、保養與維修管理、運行即時監控等子系統,韋建名指出,去年系統已研發完成,目前被中科半導體廠導入在20多台設備中。

預測準確率達95%

他表示,良率攸關半導體產業競爭力,即使業者定期保養設備,仍可能發生非預期性的故障停機,或是當品質檢測發現問題時才知道機台發生異常,往往造成大量廢片損失、生產延遲與良率大幅下降,設備預診斷系統整合人工智慧演算法,有如「鐵板神算」,可及早預測機台需要維修的時間點;工研院指出,故障預診斷技術預測準確率達95%,有助工廠能更積極掌握機台的健康情況,大幅減少生產線因機台突然故障而必須停產的風險。

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