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台積電、三星拼7奈米製程 ASML極紫外光設備訂單強強滾

2017-04-20  10:00

〔記者洪友芳/新竹報導〕全球半導體微影技術領導廠商艾司摩爾 (ASML) 公佈今年第一季財報,季營收19.4億歐元,毛利率為47.6%,EUV極紫外光微影系統的未出貨訂單則已累積到21台,價值高達23億歐元,預估第二季營收將落在19到20億歐元之間,毛利率約為43到44%。

ASML總裁暨執行長溫彼得 (Peter Wennink) 指出,「積極的產業環境為2017年提供了一個的強勁開始,我們預估這樣健康的市場需求將持續今年一整年。我們看到客戶對於DUV的強烈需求,有些客戶選購效能升級方案以優化他們現有的浸潤式機台,因此我們的服務和升級業務在第一季度的表現也非常好,預估這樣的趨勢將延續到第二季。」

溫彼得也說明攸關先進製程設備銷售進展,指出EUV極紫外光微影系統正進入量產階段,訂單持續湧入,目前的未出貨訂單已累積到21台。

三星去年年中傳出購買EUV 機台設備,傳出預計今年底量產7奈米;台積電7奈米製程已在第一季底試產與準備明年量產,此製程首度導入極紫外光微影技術,並為客戶提供強化版的產品設計。

對於第一季產品銷售情況,ASML表示,深紫外光 (DUV)微影持續出貨,NXT:1980浸潤式微影系統給記憶體客戶及邏輯晶片客戶進行10奈米量產、7奈米製程開發,目前NXT:1980浸潤式系統的累積裝機量已提高達到60多台。

本季ASML和Cadence宣布合作,將ASML的微影和圖樣模擬(patterning simulation) 模型整合到Cadence的產品中,這將幫助晶片設計業者在設計階段就能進行可生產性確認,以達到更好的效能並縮短上市時程。極紫外光(EUV)微影已在第一季末到第二季初間完成第一台NXE:3400B系統的出貨。

展望第二季,ASML預估整體銷售淨額可達19到20億歐元,毛利率約落在43到44%,其中包含約2億歐元的EUV營收。研發投資金額提高到3.15億歐元,其他收入部份 (包括來自於客戶共同投資計劃的收入)約為2,400萬歐元,管銷費用支出則約1億歐元,年化稅率約13~14%。ASML預估在第二季會有另外3台NXE:3400B EUV微影系統完成出貨。

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  • 台積電與三星拼7奈米製程量產時程,帶動ASML極紫外光設備訂單強強滾。(記者洪友芳攝)

    台積電與三星拼7奈米製程量產時程,帶動ASML極紫外光設備訂單強強滾。(記者洪友芳攝)

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